本發(fā)明屬于分析化學和分析儀器技術領域，公開了一種超分辨率離子遷移譜儀的控制方法、系統(tǒng)、設備，所述超分辨率離子遷移譜儀的控制方法包括：離子門常閉并短暫打開，得到譜峰高于基線的離子譜圖；離子門常開并短暫關閉，得到譜峰低于基線的離子譜圖；將譜峰高于基線的離子譜圖與譜峰低于基線的離子譜圖做差，得到超分辨率的離子譜圖。本發(fā)明通過借鑒光學成像中的超分辨率實現方法，提出一種通過改變進樣模式和數據處理的超分辨率離子遷移譜儀的控制方法，能夠減小甚至消除擴散現象和離子間庫倫斥力對離子遷移譜儀儀器分辨率的影響，突破遷移管距離固定時離子遷移譜儀的分辨率極限。