一種帶焊球面陣列四面扁平無(wú)引腳封裝件制備方法,晶圓減薄劃片;裸銅框架正面貼干膜;形成凹槽,裸銅框架刻出第三凹槽和引腳槽;涂第一鈍化層,第三凹槽底面的第一鈍化層刻UBM1窗口、鍍UBM1層;倒裝芯片,芯片凸點(diǎn)與UBM1層接觸,下填充;塑封框架正面;磨削框架背面涂第二鈍化層,刻出第五凹槽,引腳底面涂第三鈍化層,刻出第六凹槽,第三鈍化層化學(xué)鍍銅層,刻出第七凹槽;銅層涂第四鈍化層,刻出UBM2窗口;化學(xué)沉積UBM2層;回流焊形成錫球;包封后固化第四鈍化層;打印分離檢測(cè),得帶焊球面陣列四面扁平無(wú)引腳封裝件。該制備方法保證UBM性能質(zhì)量,可以代替部分基板生產(chǎn)CSP封裝器件,降低生產(chǎn)成本,縮短研發(fā)周期。
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