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半導(dǎo)體的加工方法

1239   編輯:管理員   來源:中冶有色網(wǎng)  
2023-03-19 07:55:18
本申請(qǐng)公開了一種半導(dǎo)體的加工方法,包括以下步驟:(1)晶圓處理制程,先將晶圓適當(dāng)清洗,再進(jìn)行氧化及化學(xué)氣相沉積,然后進(jìn)行涂膜、曝光、顯影、蝕刻、離子植入和金屬濺鍍,最后完成數(shù)層電路及元件加工與制作;(2)晶圓針測(cè)制程,用針測(cè)儀對(duì)晶圓的每個(gè)晶粒檢測(cè)其電氣特性;(3)構(gòu)裝,將單個(gè)的晶粒固定在塑膠或陶瓷制的芯片基座上,并把晶粒上蝕刻出的引接線端與基座底部伸出的插腳連接,封膠,最后蓋上塑膠蓋板,用膠水封死;(4)測(cè)試制程,將封裝后的芯片置于測(cè)試裝置的模擬環(huán)境下測(cè)試其電氣特性,包括消耗功率、運(yùn)行速度和耐壓度,經(jīng)測(cè)試后的芯片,依其電氣特性劃分為不同等級(jí)。
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