本發(fā)明公開(kāi)了一種惰性氣體高溫純化系統(tǒng)，采用物理吸附、化學(xué)吸附和催化氧化等工序聯(lián)用的惰性氣體純化工藝。純化系統(tǒng)包含氣源供氣裝置、分子篩脫水裝置、濾芯為PTFE材質(zhì)固體顆粒過(guò)濾裝置、濾芯材料為YBCO的脫氧裝置、濾芯為貴金屬的高溫過(guò)濾裝置、冷卻裝置和氣體含量在線檢測(cè)設(shè)備等其他相關(guān)部件。該操作方法包括以下幾個(gè)階段：①加熱爐升溫階段；②抽真空及降溫階段；③過(guò)濾及冷卻階段；④實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)階段。本發(fā)明優(yōu)點(diǎn)在于，系統(tǒng)可靠、性價(jià)比高、易操作，純化后的氣體純度高。滿足電子工業(yè)產(chǎn)業(yè)、氣氛熱處理等對(duì)超高純化惰性氣體的需求。