本發(fā)明公開了一種硅鋼EBSD試樣的制備方法，包括步驟：S1、鑲嵌：采用導(dǎo)電型鑲嵌料對硅鋼試樣進(jìn)行鑲嵌；S2、機(jī)械拋光：對鑲嵌后的試樣進(jìn)行拋光；S3、配置腐蝕劑；S4、侵蝕：將拋光后的試樣浸入腐蝕劑中，侵蝕時間為6?8秒；S5、清潔：對侵蝕后的試樣表面進(jìn)行清潔。本發(fā)明的硅鋼EBSD試樣的制備方法，可以制備符合硅鋼EBSD分析的試樣，制備過程操作簡單，易于掌握，通過對試樣的機(jī)械拋光和簡單的化學(xué)浸蝕，可以提高硅鋼EBSD試樣的衍射花樣解析率，效果良好。