本發(fā)明公開(kāi)了屬于氣體傳感器技術(shù)領(lǐng)域的一種多孔硅納米線NO2氣體傳感器的制備方法。該方法首先利用金屬銀催化化學(xué)腐蝕，在硅片表面制備出多孔硅納米線，再通過(guò)金屬鹽溶液浸泡或者磁控濺射的方法，在多孔硅納米線表面修飾一層Ag納米顆粒，得到的薄膜樣品接上Ag電極和Ag導(dǎo)線后，可作為檢測(cè)NO2氣體的氣敏傳感器。在一定的電壓下，當(dāng)氣體環(huán)境中通入NO2時(shí)，傳感器的電阻值明顯下降；去除NO2氣體重新通入空氣后，傳感器的電阻值可以回升。本方法制備的NO2氣敏傳感器具有靈敏度高，成本低，環(huán)境穩(wěn)定性好的特點(diǎn)，在NO2氣體中器件的電阻值變化可達(dá)30％以上，具有實(shí)際應(yīng)用的價(jià)值。