一種陶瓷微結(jié)構(gòu)石墨烯氣體傳感器及其制造方法，本發(fā)明屬于傳感器技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種陶瓷微結(jié)構(gòu)石墨烯氣體傳感器及其制造方法。本發(fā)明是為了解決陶瓷異質(zhì)材料上石墨烯CVD生長、修飾困難和傳感器結(jié)構(gòu)尺寸大的問題。本發(fā)明采用MEMS工藝技術(shù)在陶瓷異質(zhì)材料基片制作傳感器加熱電阻和信號輸出電極，采用PVD技術(shù)在基片上制作石墨烯生長的種子層，用CVD技術(shù)實現(xiàn)石墨烯在種子層上的生長，用化學(xué)修飾手段實現(xiàn)對石墨的功能化修飾，完成石墨烯氣體傳感器的制備。本發(fā)明的傳感器具有性能高、尺寸小的特點，通過傳感單元的陣列化集成用于多種氣體濃度同時檢測。