本發(fā)明公開了一種電子級氨水制備用裝置及其制備工藝，屬于電子級化學品技術領域。該裝置包括按氣體流動方向依次連通的純化機構、調制檢測機構和制取機構，還包括連通于冷卻反應釜底端處的出液循環(huán)管路，該裝置在純化機構若干第一進水管上安裝的第一冷卻器能將進入洗滌塔的超純水冷卻至5?10℃，在吸收塔底設置的冷卻反應釜能將經吸收形成的電子級氨水初品冷卻并保溫在15?20℃，同時在回流濃度不合格氨水循環(huán)段上設置的第二冷卻器能將重新進入吸收塔的不合格電子級氨水冷卻至5?10℃，上述裝置和工藝能夠有效降低因溫度過高導致雜氣或氨氣重新?lián)]發(fā)引起的成品純度不夠或濃度不足的情況。