本發(fā)明提供一種微溝道橫截面為圓角矩形的玻璃基微色譜柱,在玻璃基底中的微溝道橫截面呈圓角矩形結(jié)構(gòu),這種微溝道具有均勻的“準(zhǔn)零流速區(qū)”,可使得微色譜柱的固定相涂覆均勻,獲得對稱度較高的色譜峰,從而更加適合精確定性定量檢測;采用飛秒激光或超快激光對預(yù)設(shè)深度處的玻璃基底進(jìn)行激光改性并輔助化學(xué)濕法刻蝕,可直接在玻璃基底預(yù)設(shè)深度處制備微溝道,無需采用光刻、DRIE及鍵合工藝,制備工藝步驟簡單,且玻璃本身成本低,可大大降低制造成本,更適合批量生產(chǎn)。
聲明:
“微溝道橫截面為圓角矩形的玻璃基微色譜柱” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)