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微溝道橫截面為圓角矩形的玻璃基微色譜柱

1231   編輯:管理員   來源:中冶有色網(wǎng)  
2023-03-19 08:04:31
本發(fā)明提供一種微溝道橫截面為圓角矩形的玻璃基微色譜柱,在玻璃基底中的微溝道橫截面呈圓角矩形結(jié)構(gòu),這種微溝道具有均勻的“準(zhǔn)零流速區(qū)”,可使得微色譜柱的固定相涂覆均勻,獲得對稱度較高的色譜峰,從而更加適合精確定性定量檢測;采用飛秒激光或超快激光對預(yù)設(shè)深度處的玻璃基底進(jìn)行激光改性并輔助化學(xué)濕法刻蝕,可直接在玻璃基底預(yù)設(shè)深度處制備微溝道,無需采用光刻、DRIE及鍵合工藝,制備工藝步驟簡單,且玻璃本身成本低,可大大降低制造成本,更適合批量生產(chǎn)。
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