本文提供半導(dǎo)體制程的系統(tǒng)和方法，其中基于化學(xué)混合物的感測性質(zhì)來自動控制含于水槽中的化學(xué)混合物中的化學(xué)物的量或濃度。在一些實施例中，半導(dǎo)體制程系統(tǒng)包括經(jīng)配置以包含化學(xué)混合物的處理水槽?；瘜W(xué)感測器經(jīng)配置以感測化學(xué)混合物的一或更多性質(zhì)。系統(tǒng)進一步包括電控閥，此電控閥經(jīng)配置以基于化學(xué)混合物的所感測的一或更多個性質(zhì)來調(diào)整第一化學(xué)物在化學(xué)混合物中的量。