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半導(dǎo)體器件微型散熱器

1190 編輯：管理員來源：中冶有色網(wǎng)

2023-03-19 08:14:35

一種半導(dǎo)體器件微型散熱器,屬于半導(dǎo)體微電子技術(shù)領(lǐng)域。本發(fā)明由一層或一層以上的金屬層構(gòu)成,所述的金屬層包括單金屬層或合金層,所述的單金屬是Cu、Ni、Co、Fe、Sn、Cr、Al、Ag、Au、Pd、Pt中的一種,所述的合金由上述任意兩種或兩種以上單金屬構(gòu)成,所述的單金屬層或合金層至少有一層為微納米針狀晶布陣結(jié)構(gòu),如果是一層以上的金屬層,則金屬層之間金屬鍵結(jié)合。本發(fā)明結(jié)構(gòu)簡單、體積小、散熱效果好,通過較簡單的化學(xué)、電化學(xué)或物理沉積方法容易獲得,并可直接敷著在被散熱體上,且制造成本低,使應(yīng)用范圍廣,經(jīng)測定該散熱器的散熱效果遠(yuǎn)遠(yuǎn)高于通常粘貼于芯片背面的銅平板散熱片。

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