本發(fā)明公開了一種提高n型氧化亞銅薄膜載流子濃度的熱處理方法。該方法的步驟如下:將電化學(xué)沉積制備所得的n型氧化亞銅薄膜放入熱處理爐中進(jìn)行除碳;將熱處理爐溫度升高至120?C至150?C,保溫1~2小時(shí);除碳過(guò)程后,將熱處理爐溫度升至300?C至400?C,保溫1~2小時(shí);熱處理后,熱處理爐溫度自然降溫至常溫,將n型氧化亞銅薄膜取出并進(jìn)行測(cè)試。本發(fā)明是對(duì)電化學(xué)沉積的n型氧化亞銅薄膜進(jìn)行先除碳,再熱處理的方法。通過(guò)除碳過(guò)程,可以去除在沉積過(guò)程中n型氧化亞銅薄膜中的有機(jī)雜質(zhì),然后對(duì)氧化亞銅薄膜進(jìn)行熱處理,通過(guò)控制熱處理溫度與時(shí)間,提高n型氧化亞銅薄膜載流子濃度。