本發(fā)明屬于微型生物傳感器,一種硅基可集成微型葡萄糖傳感器的制作方法。現(xiàn)有的葡萄糖傳感器以葡萄糖氧化酶電極作為分子識別及信號轉(zhuǎn)換的器件,穩(wěn)定性差,限制了以酶為基礎(chǔ)的葡萄糖傳感器的應(yīng)用。本發(fā)明以P-型單面拋光硅片電化學(xué)刻蝕制作硅微通道;在溫度80攝氏度的無電電鍍?nèi)芤褐?沉積30-45分鐘;取出硅微通道用去離子水沖洗制得。本發(fā)明的優(yōu)點(diǎn)是:采用電化學(xué)制程,成本低,操作簡單;微通道孔度均勻,比表面積和深寬比大;無電鍍鍍液配制簡單,價(jià)格低廉;對葡萄糖的測試不產(chǎn)生影響;三維結(jié)構(gòu)有利于促進(jìn)葡萄糖與活性物質(zhì)接觸,提高氧化電流;有利于離子的交換反應(yīng);器件微型化、集成化,有利于規(guī)?；a(chǎn)。