在本發(fā)明中提供了一種用于原子層沉積的裝置和方法,該裝置和方法能減小化學(xué)用品和反應(yīng)氣體的混合。通過安裝和監(jiān)測前級管道(26),第一產(chǎn)物母體和第二產(chǎn)物母體只有在合適的時間和位置處才能與其它化學(xué)藥品和反應(yīng)氣體混合。還有,提供了獨(dú)立和專用的腔室出口(17、29)、隔離閥(24、34)、排氣前級管道(22、36)和排氣泵(20、30),它們在需要時用于驅(qū)動特定氣體。