一種氮化物半導(dǎo)體材料除氫激活提升p型導(dǎo)電性的方法，涉及III族氮化物半導(dǎo)體材料。設(shè)計三電極電化學(xué)處理裝置；將p型摻雜的半導(dǎo)體晶片密封至容器底部，作為工作電極；設(shè)置輔助電極和參比電極，與工作電極構(gòu)成電化學(xué)三電極系統(tǒng)；選擇除氫電解液，加入容器中，并淹沒三電極；于工作電極和輔助電極之間施加直流偏壓，進行除H并激活p型雜質(zhì)；激活處理完畢，取出p型半導(dǎo)體晶片，進行去離子水超聲清洗；利用電學(xué)裝置測試晶片的電學(xué)性質(zhì)。操作簡便、無需高溫退火，可制備出具有良好導(dǎo)電特性的p型GaN和AlGaN材料，并且可對完整結(jié)構(gòu)器件晶圓片做后期處理，在可見光、紫外、深紫外的LED、LD、探測器等光電子領(lǐng)域中有著廣泛的應(yīng)用。