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自持薄膜細絲型傳感器的制造和應用

1134   編輯:管理員   來源:中冶有色網  
2023-03-19 08:14:38
一種細絲型傳感器,用于測定周圍環(huán)境的靜態(tài)或動態(tài)特性,它包括一個適合于在環(huán)境中通過電流而受熱的電阻元件。界面區(qū)域適合于在按照待測定的特性影響界面區(qū)域電子特性的物理化學過程中與環(huán)境發(fā)生反應。該傳感器包括形成至少一個洞孔和至少一個含電阻元件的細絲的支持片。細絲包括一或多個薄膜,并具有一個位于洞孔內的中央部分和至少兩個端部,中央部分通過這兩個端部連接到支持片上。
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