本實用新型提供一種原料供給裝置,用于給清洗裝置提供原料,其中,該裝置包括一條提供化學品的管路和提供去離子水的管路,這兩條管路共同連接到一條管路中以便將混合原料提供給清洗裝置;該裝置中還包括設置在所述兩條管路上的數(shù)字流量器,用于測量流經(jīng)對應管路的原料流量。所述的兩條管路均分別設有調(diào)節(jié)鈕,用于調(diào)節(jié)對應管路的原料流量。所述數(shù)字流量器連接一個顯示屏,顯示屏可以設置在原料供給裝置外部,用于顯示數(shù)字流量器測量的原料流量。本實用新型通過數(shù)字計量器可精確測量原料流量且顯示在顯示屏上。操作員可以精確獲知化學品和去離子水的流量,精確調(diào)控流量,不僅能徹底清洗晶片表面,還能最大程度減少原料的用量,有效節(jié)約生產(chǎn)成本。