本發(fā)明公開(kāi)了一種真空隔熱的MEMS流量傳感器及其制作方法，該流量傳感器包括：襯底，設(shè)有真空密閉隔熱腔體；第一介質(zhì)層，形成于襯底的上表面；加熱元件、感溫元件及金屬電極，形成于第一介質(zhì)層的上表面，其中感溫元件對(duì)稱分布在加熱元件的兩側(cè)，加熱元件及感溫元件局部位于隔熱腔體的上方；第二介質(zhì)層，覆蓋加熱元件、感溫元件、金屬電極及通孔，且局部刻蝕出接觸孔。本發(fā)明的MEMS流量傳感器利用低壓力化學(xué)氣相沉積法的“保形效應(yīng)”形成真空密閉隔熱腔體，一方面可提高隔熱腔體的隔熱性能，另一方面可減少被測(cè)流體與隔熱腔體之間的對(duì)流熱損失，從而有利于降低器件功耗，并增大上下游感溫元件之間的溫差，有效提高器件靈敏度。