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組裝式神經(jīng)微探針陣列的制作方法

808   編輯:管理員   來源:中冶有色網(wǎng)  
2023-03-19 08:17:30
本發(fā)明屬于神經(jīng)微探針陣列技術(shù)領域,具體為一種組裝式神經(jīng)微探針陣列的制作方法。該方法用電鍍焊接的方法把微探針陣列與對應的柔性互連線組裝在一起,并用定刻膠對焊接處進行加固,電化學腐蝕出金屬探針針尖后,用聚對二甲苯涂敷除插腳外的所有地方,接著,反應離子刻蝕掉針尖上的聚對二甲苯,根據(jù)刻蝕的條件可以控制微探針的阻抗。金屬微探針有足夠的強度刺入神經(jīng)組織,而柔性互連線不會引起太大的損傷,這種方法制作的神經(jīng)探針集合了兩者的優(yōu)點,有利于用作長期植入式神經(jīng)信號的探測。
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