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Ga2O3薄膜及其制備方法

780   編輯：管理員   來源：中冶有色網(wǎng)  
2023-03-19 08:20:15
本發(fā)明提供了一種Ga2O3薄膜的制備方法，包括以下步驟：以有機(jī)鎵化合物作為鎵源，以高純氧氣作為氧源，利用金屬有機(jī)化學(xué)氣相沉積法在襯底表面進(jìn)行沉積，降溫后得到Ga2O3薄膜；在Ga2O3薄膜生長的過程中間歇補充有機(jī)鎂化合物。本申請還提供了上述制備方法所制備的Ga2O3薄膜，Ga2O3薄膜中摻雜微量鎂。本申請通過對制備Ga2O3薄膜中有機(jī)鎂化合物的通入時機(jī)和通入時間的控制，實現(xiàn)了微量鎂摻雜的Ga2O3薄膜的制備，其為實現(xiàn)高性能日盲紫外光探測器提供了便捷有效的手段。
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