本發(fā)明涉及一種自動決定反應(yīng)爐管的清潔過程終點(diǎn)的方法,其適用于低壓化學(xué)氣相沉積機(jī)臺。本發(fā)明的方法為,將清潔氣體導(dǎo)入反應(yīng)爐管中,使清潔氣體在特定溫度下產(chǎn)生化學(xué)反應(yīng)。然后,連續(xù)量測反應(yīng)爐管的多個位置的溫度。接著,監(jiān)控上述位置其中之一的溫度變化,直至溫度收斂到特定溫度的允許偏差值內(nèi)。繼而,監(jiān)控全部的上述位置的溫度變化,至溫度收斂到特定溫度的允許偏差值內(nèi)。接著,進(jìn)行一段時間的過蝕刻步驟,即停止反應(yīng)爐管的清潔過程。