本發(fā)明涉及一種微波?真空聯(lián)合焙燒提純石英砂的方法，屬于高純石英砂制備技術(shù)領(lǐng)域。本發(fā)明將天然石英原礦破碎并清洗篩分分級得到石英顆粒；石英顆粒進(jìn)行焙燒后加入到淬火溶液中進(jìn)行快速淬火處理得到石英微粒；石英微粒進(jìn)行加壓酸浸處理得到酸浸液和酸浸渣；將酸浸渣進(jìn)行微波?真空聯(lián)合焙燒得到石英砂；石英砂進(jìn)行超聲堿浸處理，固液分離得到堿浸液和堿浸渣，堿浸渣經(jīng)超聲清洗，干燥得到高純石英砂。本發(fā)明可將石英砂中的雜質(zhì)得到高效的去除，二氧化硅的純度高于99.999%的高純石英砂。