本實用新型公開了一種用于硼擴散工藝的石英爐門，包括石英門本體，所述石英門本體的內(nèi)壁附著有一層在硼擴散高溫條件下化學(xué)性能穩(wěn)定、且熱脹冷縮系數(shù)低于所述石英門體材料的熱脹冷縮系數(shù)的保護膜；本實用新型中通過在石英門本體內(nèi)壁上設(shè)置高溫條件下穩(wěn)定性比較強、且熱脹冷縮系數(shù)小的保護膜，避免了硼玻璃與石英門本體內(nèi)壁的直接接觸，緩解了石英門本體內(nèi)壁由于較大熱脹冷縮現(xiàn)象產(chǎn)生的較大應(yīng)力，對石英門的損壞，可以提高石英爐門的使用壽命，并且延長石英爐門的維護周期，降低了石英爐門的頻繁檢修損耗、節(jié)省人力、物力，相應(yīng)提高了生產(chǎn)效率和太陽能電池片的生產(chǎn)質(zhì)量，進而可以大大降低太陽能電池片生產(chǎn)成本。此外，本實用新型還提供了一種包括上述石英爐門的設(shè)備。