非接觸模式與接觸模式協(xié)同工作的原子力顯微鏡控制方法，解決現(xiàn)有兩種工作模式組合方式存在無(wú)法原位表征的問(wèn)題，屬于原子力顯微鏡技術(shù)。本發(fā)明的原子力顯微鏡的懸臂梁帶動(dòng)探針在樣品上方，方法包括：S1、原子力顯微鏡的懸臂梁帶動(dòng)探針在樣品上方設(shè)定距離處，激發(fā)傳感器激發(fā)懸臂梁帶動(dòng)探針諧振，測(cè)試長(zhǎng)程性能；S2、激發(fā)傳感器停止激發(fā)，驅(qū)動(dòng)樣品向上運(yùn)動(dòng)或探針向下運(yùn)動(dòng)進(jìn)而使樣品表面緊貼上方的探針，激勵(lì)傳感器產(chǎn)生激勵(lì)信號(hào)作用于樣品和/或探針，測(cè)試樣品的物理化學(xué)特性；S3、激勵(lì)傳感器停止產(chǎn)生激勵(lì)信號(hào)，同時(shí)樣品或探針回到原位，驅(qū)動(dòng)樣品或探針移動(dòng)使原子力顯微鏡的懸臂梁帶動(dòng)探針移動(dòng)至下一個(gè)測(cè)試位置點(diǎn)，轉(zhuǎn)入S1。