本實(shí)用新型屬于化學(xué)氣相沉積技術(shù),涉及一種由六套單元系統(tǒng)構(gòu)成的多工位氣相合成金剛石膜裝置,各單元系統(tǒng)分別由充氣系統(tǒng)、排氣系統(tǒng)和反應(yīng)室等連接構(gòu)成,六單元系統(tǒng)并聯(lián)成結(jié)構(gòu)相同、工作相對(duì)獨(dú)立且便于控制的六工位整機(jī)裝置,氫氣和甲烷充氣系統(tǒng)并聯(lián)后接入反應(yīng)室,反應(yīng)室內(nèi)的燈絲安裝和更換采用專用工裝設(shè)備,制有輔助排氣管路便于故障檢修,具有結(jié)構(gòu)新穎,性能可靠,產(chǎn)量高,質(zhì)量好,便于維修等優(yōu)點(diǎn),可用于厚金剛石膜置備。