一種摻鉈碘化銫復(fù)合薄膜及其制備方法，屬于閃爍體探測(cè)成像技術(shù)領(lǐng)域。本發(fā)明公開的復(fù)合薄膜包括自下而上依次沉積摻鉈碘化銫薄膜層、微米級(jí)二氧化鈦層和納米級(jí)金屬鋁層，并且公開了基于真空蒸發(fā)法制備所述復(fù)合薄膜。本發(fā)明利用微米級(jí)二氧化鈦膜的物理特性在顯著提高復(fù)合薄膜光光轉(zhuǎn)換產(chǎn)額的同時(shí)，也防止了探測(cè)器轉(zhuǎn)換產(chǎn)生的過多紫外線對(duì)人體造成的傷害；利用金屬鋁的化學(xué)特性提高了摻鉈碘化銫復(fù)合薄膜的抗潮解能力，極大克服了轉(zhuǎn)換熒光損耗的問題。并且，本發(fā)明通過真空蒸發(fā)法制備摻鉈碘化銫復(fù)合薄膜，制備方法簡(jiǎn)單可控，成本低，適于工業(yè)化生產(chǎn)。本發(fā)明對(duì)提高摻鉈碘化銫閃爍體探測(cè)成像性能有重要的意義。