一種鎂合金表面制備釔/氮化硅復(fù)合涂層材料的方法，涉及鎂合金表面復(fù)合涂層材料。提供膜厚可控，具有良好抗腐蝕性能的一種鎂合金表面制備釔/氮化硅復(fù)合涂層材料的方法?；w前處理；靶材預(yù)濺射；直流濺射沉積過渡層金屬Y膜；射頻反應(yīng)濺射沉積外層非晶態(tài)Si3N4膜。使用金屬Y作為過渡層，然后在過渡層的基礎(chǔ)上射頻反應(yīng)濺射沉積非晶態(tài)Si3N4膜法。在一定沉積壓強(qiáng)、溫度、氣體流量等條件下，通過改變?yōu)R射時(shí)間，制備出各層膜厚可控具有超強(qiáng)抗腐蝕性能的Y/Si3N4復(fù)合涂層材料。通過動(dòng)電位極化曲線和交流阻抗的電化學(xué)測試以及析氫試驗(yàn)和鹽霧試驗(yàn)的實(shí)際使用測試，結(jié)果表明表面覆蓋Y/Si3N4復(fù)合涂層的鎂合金擁有良好的抗腐蝕性能。