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用于制備多晶硅的方法

735   編輯:管理員   來源:中冶有色網(wǎng)  
2023-03-19 08:56:36
本發(fā)明提供一種用于在化學氣相沉積反應器中制備多晶硅的方法,其中,在反應器外部的至少一個反應器部件的至少一個位置,使用測量裝置測量反應器的振動,并且任選地記錄該振動。本發(fā)明還提供了一種用于實施該方法的反應器。
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聲明:
“用于制備多晶硅的方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)
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