本發(fā)明屬于光信號(hào)處理器件技術(shù)領(lǐng)域，涉及一種深紫外平面光波導(dǎo)制作方法，工藝過(guò)程包括制備基底層、制備芯層、制備保護(hù)層和制備上包層共四個(gè)步驟，材質(zhì)為二氧化硅的基底層能夠減少熱應(yīng)力，摻雜硼和磷的芯層和上包層對(duì)深紫外波段光的吸收量少，同時(shí)能夠提高光波導(dǎo)的折射率，材質(zhì)為二氧化硅的保護(hù)層能夠防止芯層與上包層的互溶，基底層、芯層、保護(hù)層和上包層構(gòu)成橫截面為矩形結(jié)構(gòu)的摻雜硼和磷的石英異質(zhì)波導(dǎo)可以應(yīng)用在深紫外波段，對(duì)生物與化學(xué)傳感、醫(yī)療衛(wèi)生、食品安全、海洋探測(cè)等領(lǐng)域的發(fā)展有重要意義；其光波導(dǎo)的結(jié)構(gòu)和制作方法工藝簡(jiǎn)單，既能提高折射率，又能降低深紫外光的傳輸損耗，能夠作為各種光器件的制造原材料。