本發(fā)明涉及用于在擴(kuò)散阻擋層上的銅膜的粘合增強(qiáng)的材料。已經(jīng)使用現(xiàn)有技術(shù)的計(jì)算化學(xué)技術(shù)來(lái)鑒定為銅種子層到粘合增進(jìn)層以及粘合增進(jìn)層到阻擋層提供良好粘合的粘合增進(jìn)層材料。已經(jīng)鑒定了導(dǎo)致在各種金屬表面上提供銅層的優(yōu)良粘合的因素以及發(fā)生銅膜附聚的環(huán)境。已經(jīng)預(yù)測(cè)數(shù)種有前景的基于鉻合金的粘合增進(jìn)層材料能顯著地增強(qiáng)銅膜的粘合。多齒Β-酮亞胺鹽的含鉻絡(luò)合物已被鑒定作為含鉻前體用于制造具有鉻的合金。