本發(fā)明涉及一種適用于ZnO粉末提純的工藝。在石英安瓿中采用抽空加熱并結(jié)合石墨輔助化學(xué)氣相法對(duì)ZnO粉末進(jìn)行提純。測(cè)試結(jié)果顯示，提純后得到的ZnO多晶雜質(zhì)離子(如Ag、Cu、Pb等對(duì)器件影響較大的深能級(jí)、多能級(jí)重金屬離子)明顯減少，純度大幅提高，結(jié)晶度好。該方法對(duì)設(shè)備要求較低，操作簡(jiǎn)單，提純效率高，實(shí)用性強(qiáng)，適合推廣。