本發(fā)明公開了一種金剛石修整碟及其制造方法，屬于化學(xué)機(jī)械研磨技術(shù)領(lǐng)域。所述金剛石修整碟，包括氮化硅陶瓷基底和微米金剛石薄膜，微米金剛石薄膜涂覆在氮化硅陶瓷基底表面；通過拉曼光譜儀進(jìn)行測(cè)定，微米金剛石薄膜僅在1330?1339cm?1區(qū)間有一個(gè)尖銳峰；所述微米金剛石薄膜為SP3結(jié)構(gòu)的金剛石多晶體。本發(fā)明的金剛石修整碟通過采用微米金剛石膜薄膜涂層，有效提高了修整碟的耐磨性，從能保證了尖點(diǎn)尖度的保持能力，對(duì)維持研磨墊的表面粗糙度有明顯的優(yōu)勢(shì)，可以確保CMP制程中穩(wěn)定的晶圓表面材料去除率和品質(zhì)一致性。