本發(fā)明涉及一種用于氯氣刻蝕烘烤設(shè)備的反應(yīng)罩，該反應(yīng)罩由耐溫、隔熱并具有高透光性的材料整體制成，并在其頂面設(shè)有用于容納溫度測量裝置的第一管和供氣體進入的第二管。第二管通入到設(shè)置在反應(yīng)罩內(nèi)的多層孔板結(jié)構(gòu)，第一管穿透多層孔板結(jié)構(gòu)而通到反應(yīng)罩內(nèi)部。多層孔板結(jié)構(gòu)至少包括分層排列的第一和第二孔板，第一和第二孔板上分別分布有構(gòu)成第一和第二圖案的多個孔。本發(fā)明的反應(yīng)罩為氯氣刻蝕烘烤設(shè)備提供合適的反應(yīng)空間，以保證氯氣刻蝕烘烤設(shè)備為金屬有機化學氣相沉積設(shè)備提供可重復(fù)利用的清潔石墨盤和刻蝕清潔的外延襯底片，從而在充分清潔石墨盤表面和外延襯底片的沉積物的同時，改善外延片的生長成品率和襯底片的重復(fù)利用率。