一種鈀金合金氫氣傳感器芯體的制造方法，屬于傳感器技術(shù)及制造領(lǐng)域，本發(fā)明為解決現(xiàn)有傳感器芯體穩(wěn)定性不高，并且成本高的問(wèn)題。本發(fā)明的具體過(guò)程為：依次用丙酮溶液、酒精和HF溶液清洗硅片，然后甩干；利用干法濕法混合氧化，在硅片表面形成第一二氧化硅層和第二二氧化硅層；利用化學(xué)氣相沉積在第一二氧化硅層的表面形成氮化硅層；利用濺射在氮化硅層表面形成鈀鎂合金薄膜；利用濺射在氮化硅層的表面形成測(cè)溫電阻和加熱電阻；在背面利用腐蝕形成背面腐蝕槽。本發(fā)明用于氫氣傳感器的生產(chǎn)和使用中。