本發(fā)明公開了一種薄膜晶體管及其制備方法和顯示裝置,其中薄膜晶體管包括襯底、柵電極層、柵介質(zhì)層、溝道層、源電極層和漏電極層。其中,溝道層為鋅錫氮薄膜;鋅錫氮薄膜的化學(xué)式為:ZnxSnyNz;x為鋅錫氮薄膜中鋅元素的原子含量,y為鋅錫氮薄膜中錫元素的原子含量,z為鋅錫氮薄膜中氮元素的原子含量。其通過采用鋅錫氮薄膜作為溝道層的薄膜晶體管除了可應(yīng)用于平板顯示,同時還可應(yīng)用于光發(fā)射和寬光譜光電探測領(lǐng)域等。最終有效解決了傳統(tǒng)的薄膜晶體管的應(yīng)用較為單一,應(yīng)用范圍具有一定的局限性的問題。
聲明:
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