本發(fā)明公開了一種薄膜晶體管及其制作方法,該薄膜晶體管的柵極是具有立體結(jié)構(gòu)的導(dǎo)電材料,沿著與其長度方向平行的中心軸線,該導(dǎo)電材料呈中心軸對(duì)稱結(jié)構(gòu);該導(dǎo)電材料的一端作為柵極接觸部分,其余部分的外圍包覆著柵極介質(zhì)層,柵極介質(zhì)層外圍包覆著導(dǎo)電溝道層,源極和漏極分別設(shè)置在導(dǎo)電溝道層外圍。與現(xiàn)有的平面型薄膜晶體管相比,本發(fā)明提供的薄膜晶體管呈立體包覆結(jié)構(gòu),具有成本低廉、制作簡單、攜帶方便、操作靈活的優(yōu)點(diǎn),能夠直接用于氣體、液體化學(xué)物質(zhì)和生物材料等的探測和鑒別,具有良好的應(yīng)用前景。
聲明:
“薄膜晶體管及其制作方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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