一種進(jìn)行離子輻照實(shí)驗(yàn)的ECR-PECVD裝置，該裝置包括微波源、通電線圈、進(jìn)氣管、手持式紅外測(cè)溫儀、可視窗口、加熱爐、抽真空管道、水冷管、樣品、絕緣陶瓷片。設(shè)備的腔體上端附有通電線圈，為等氣體電離提供磁場(chǎng)；在腔體的一側(cè)設(shè)有進(jìn)氣管，底端設(shè)有抽氣管道，另一側(cè)設(shè)有可視窗口。ECR-PECVD設(shè)備在化學(xué)氣上沉積方面有很大的應(yīng)用，但經(jīng)過改造后在面向等離子體材料的研究方面也能起到至關(guān)重要的作用。其中在樣品上加負(fù)偏壓在150V左右是束達(dá)到2x1020He·m-2·s-1，并能夠在此參數(shù)下穩(wěn)定長時(shí)間的工作；此設(shè)備在溫度可控的條件下能夠進(jìn)行各種參數(shù)的調(diào)節(jié)，能夠穩(wěn)定的進(jìn)行工作解決了低能高束流設(shè)備短缺的問題。