一種雙盤光學(xué)回音壁模式鈮酸鋰微腔，該微腔自上而下依次是第一鈮酸鋰圓盤、二氧化硅薄盤、第二鈮酸鋰圓盤、二氧化硅支柱和鈮酸鋰基底，及其制備方法，包括制備五層薄膜、加工柱狀結(jié)構(gòu)和化學(xué)腐蝕步驟。本發(fā)明雙盤光學(xué)回音壁模式鈮酸鋰微腔具有極高的表面光潔度、小的模式體積與高的品質(zhì)因子(實(shí)測(cè)105，理論值可達(dá)107)。