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半導(dǎo)體氮化碳薄膜的制備方法

1046   編輯:管理員   來(lái)源:中冶有色網(wǎng)  
2023-03-19 08:57:03
本發(fā)明涉及一種半導(dǎo)體氮化碳薄膜的制備及轉(zhuǎn)移方法,以三聚氰胺作為前驅(qū)體,通過(guò)化學(xué)氣相沉積工藝,在多種基底材料表面制備半導(dǎo)體氮化碳薄膜或氮化碳/碳復(fù)合薄膜,其制備工藝簡(jiǎn)單,原料成本低,制備的氮化碳薄膜容易轉(zhuǎn)移到任意基底材料表面;所制備的薄膜連續(xù)性好,厚度均勻,在光電探測(cè)器中顯示出極快的響應(yīng)速度,在電催化析氫反應(yīng)中顯示出較高催化活性;此外,這種氮化碳薄膜可用于構(gòu)建柔性半導(dǎo)體器件(如發(fā)光二極管,太陽(yáng)能電池),儲(chǔ)能器件(如鋰離子電池,鈉離子電池,燃料電池)和催化電極等。
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