基于中空AFM探針定域電沉積的增材制造裝置及方法，屬于增材制造技術(shù)領(lǐng)域，包括隔振系統(tǒng)、增材制造裝置主體、清洗緩沖液單元、精密定位系統(tǒng)、監(jiān)測系統(tǒng)以及電極單元，本發(fā)明利用中空AFM探針定域電沉積技術(shù)可以實現(xiàn)金屬微結(jié)構(gòu)無掩模高定域性沉積，通過AFM懸臂的高精度力控制技術(shù)解放了Z軸高定位精度的壓力，解決了高移動位移精度與防治堵塞和短路的耦合矛盾，真正意義上實現(xiàn)亞微米級金屬三維懸臂結(jié)構(gòu)的正向微增材制造，通過定域電化學(xué)技術(shù)整合微流體技術(shù)與AFM探針技術(shù)，完成電場定域性向給液定域性的轉(zhuǎn)變，改變了無限縮小陽極尺寸的不切實際的想法，從而更加容易的實現(xiàn)了高定域性沉積。