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利用激光燒蝕涂層產(chǎn)生包含鋰的材料層或多層結(jié)構(gòu)的方法

817   編輯:管理員   來源:中冶有色網(wǎng)  
2023-03-19 08:57:04
在本發(fā)明中,引入了一種用于制造用于電化學(xué)儲(chǔ)能裝置的材料的方法,使得基于激光燒蝕的沉積方法被用于制造至少一個(gè)包含鋰的材料層。該方法的特征在于,使用從激光燒蝕生成的電磁輻射的光譜中獲得的測量信息來控制該工藝。在沉積中可以使用所謂的輥對輥方法,其中將待涂覆的基底(15、32、44、64、75、85)從一個(gè)輥(31a)引導(dǎo)至第二輥(31b),并且沉積發(fā)生在輥(31a?b)之間的區(qū)域。此外,轉(zhuǎn)動(dòng)和/或移動(dòng)反射鏡(21)可用于將激光束(12、41、71a?d、81a?d)作為光束線陣列(23)引導(dǎo)至靶材(13、42a?b、72a?d、82a?d、82A?D)的表面。
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