本發(fā)明公開(kāi)了一種用于直流弧光放電PCVD金剛石薄膜制備的基底自動(dòng)恒溫技術(shù),其特征是采用雙熱電偶分別對(duì)基底側(cè)面、背面溫度進(jìn)行測(cè)量并校正,由帶負(fù)反饋功能PID調(diào)節(jié)器、后備操作器、電動(dòng)調(diào)節(jié)閥組成的閉環(huán)控制系統(tǒng)進(jìn)行精確控溫,并開(kāi)發(fā)了基于BT2000工控組態(tài)軟件平臺(tái)的WINDOWS人機(jī)交互界面,用于溫度、閥位、沉積過(guò)程的監(jiān)控、數(shù)據(jù)采集和存儲(chǔ)。本發(fā)明具有控制精度高,操作方便,極其適合直流弧光放電等離子體化學(xué)氣相金剛石薄膜的制備。