本實(shí)用新型涉及等離子化學(xué)氣相沉積技術(shù)領(lǐng)域，公開了壓力控制系統(tǒng)及應(yīng)用了該壓力控制系統(tǒng)的等離子體沉積設(shè)備。其中，壓力控制系統(tǒng)包括：與真空腔體通過真空管道連接的真空泵，真空管道上設(shè)置有電控制閥門；用于測量真空腔體的真空度的真空計(jì)，真空計(jì)和電控制閥門通過可編程序控制器通信連接。本實(shí)用新型所提供的壓力控制系統(tǒng)能夠自發(fā)調(diào)節(jié)真空腔體內(nèi)的壓力，使得氣壓保持在一定范圍內(nèi)。