本實用新型涉及傳感器技術(shù)領(lǐng)域,確切地說是一種新型薄膜電阻型應(yīng)變傳感器,其中薄膜材料覆蓋在襯底上,在薄膜的兩端設(shè)有引出電極,襯底上設(shè)有傳感器固定結(jié)構(gòu),電阻率隨薄膜晶格間距變化而成斜率變化。本實用新型同現(xiàn)有技術(shù)相比,具有制備、結(jié)構(gòu)和匹配測量電路的簡單性,又具有氧化物材料的化學(xué)穩(wěn)定性。