基于夾固振膜結(jié)構(gòu)的微聲學(xué)器件,涉及一種微聲學(xué)器件的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)。該器件由硅襯底和設(shè)置在其上的復(fù)合膜構(gòu)成,所述的復(fù)合膜由底層向上依次為硅層、熱氧層、氮化硅層、低溫淀積的二氧化硅層、金屬鈦粘附層、金屬鉑下電極層、鋯鈦酸鉛鐵電薄膜層、金屬鉑上電極層、等離子化學(xué)氣相淀積的二氧化硅層、金屬鋁引線層,該復(fù)合膜的四周與硅襯底固結(jié)在一起。本實(shí)用新型由于采用了四周夾固的振膜結(jié)構(gòu),并通過(guò)優(yōu)化設(shè)計(jì)膜層的尺寸,因而有效克服了微聲學(xué)器件懸臂振膜結(jié)構(gòu)存在的缺陷,具有結(jié)構(gòu)堅(jiān)固、性能可靠、成品率高的突出性特點(diǎn)。測(cè)試表明,其聲學(xué)靈敏度在10mV/Pa量級(jí),能夠滿(mǎn)足移動(dòng)電話、助聽(tīng)器和其他數(shù)字通訊系統(tǒng)音頻應(yīng)用的需要。