本發(fā)明涉及一種電子束無損顯微分層內(nèi)窺透視多層結(jié)構(gòu)集成電路檢測儀，包括由電子槍、射線校正線圈、第一聚光鏡，第二聚光鏡、物鏡、物鏡光欄、偏轉(zhuǎn)線圈、二次電子探頭、背散射電子探頭等所組成的專用掃描電子顯微鏡，所述的檢測儀還包括分層透表儀。本發(fā)明的優(yōu)點一是該檢測設(shè)備具有能無損顯微分層內(nèi)窺透視多層結(jié)構(gòu)IC（集成電路）和SM(半導(dǎo)體）的分層功能；二是能夠透過表面絕緣層無損顯微內(nèi)窺透視IC和SM的透表功能。