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遮擋式暗場共焦亞表面無損檢測裝置和方法

811 編輯：管理員來源：中冶有色網(wǎng)

2023-03-19 08:57:48

本發(fā)明提供一種遮擋式暗場共焦亞表面無損檢測裝置和方法，屬于光學(xué)精密測量技術(shù)領(lǐng)域。點(diǎn)光源發(fā)出的光依次經(jīng)過準(zhǔn)直鏡、遮擋式環(huán)形光發(fā)生器、分光棱鏡和物鏡，物鏡將激光匯聚至待測樣品，載有待測樣品信息的反射光和散射光依次經(jīng)過物鏡和分光棱鏡，入射至探測互補(bǔ)光闌，反射光被探測互補(bǔ)光闌遮擋，散射光依次經(jīng)過探測互補(bǔ)光闌、收集透鏡和探測針孔，最終入射至光電探測器，從而完成對亞表面的檢測。本發(fā)明采用遮擋式環(huán)形光發(fā)生器生成環(huán)形光，采用環(huán)形光束照明樣品，結(jié)合探測互補(bǔ)光闌實(shí)現(xiàn)暗場共焦，解決了普通共焦顯微技術(shù)檢測亞表面損傷信噪比低的問題，裝置簡單易于實(shí)現(xiàn)，適用于亞表面無損檢測。

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