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環(huán)形光式暗場(chǎng)共焦亞表面無(wú)損檢測(cè)裝置和方法

1112 編輯：管理員來(lái)源：中冶有色網(wǎng)

2023-03-19 08:57:49

本發(fā)明提供一種環(huán)形光式暗場(chǎng)共焦亞表面無(wú)損檢測(cè)裝置和方法，屬于光學(xué)精密測(cè)量技術(shù)領(lǐng)域。點(diǎn)光源發(fā)出的光依次經(jīng)過(guò)準(zhǔn)直鏡、環(huán)形光發(fā)生器、分光棱鏡和物鏡，物鏡將激光匯聚至待測(cè)樣品，載有待測(cè)樣品信息的反射光和散射光依次經(jīng)過(guò)物鏡和分光棱鏡，入射至探測(cè)互補(bǔ)光闌，反射光被探測(cè)互補(bǔ)光闌遮擋，散射光依次經(jīng)過(guò)探測(cè)互補(bǔ)光闌、收集透鏡和探測(cè)針孔，最終入射至光電探測(cè)器，從而完成對(duì)亞表面的檢測(cè)。本發(fā)明采用環(huán)形光束照明，結(jié)合探測(cè)互補(bǔ)光闌實(shí)現(xiàn)暗場(chǎng)共焦，解決了普通共焦顯微技術(shù)檢測(cè)亞表面損傷信噪比低的問(wèn)題，適用于亞表面無(wú)損檢測(cè)。

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“環(huán)形光式暗場(chǎng)共焦亞表面無(wú)損檢測(cè)裝置和方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究，如用于商業(yè)用途，請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。

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