本發(fā)明涉及一種聲表面波無(wú)損檢測(cè)系統(tǒng)，用以測(cè)量測(cè)試樣片的薄膜特性，包括波形發(fā)生器、多個(gè)聲表面波叉指換能器、壓電傳感器和計(jì)算機(jī)。由多個(gè)聲表面波叉指換能器構(gòu)成可生成不同頻率聲表面波的聲表面波叉指換能器組，一個(gè)聲表面波叉指換能器包括一個(gè)叉指電極，用以在待測(cè)樣片上產(chǎn)生單頻聲表面波；壓電傳感器用以在待測(cè)樣片上拾取聲表面波的信號(hào)，通過(guò)對(duì)采集到的信號(hào)進(jìn)行處理，從而獲得相應(yīng)頻率下聲表面波的波速，更換可產(chǎn)生不同頻率的聲表面波叉指換能器，即可獲得該待測(cè)樣片的聲表面波頻散曲線(xiàn)，通過(guò)將實(shí)驗(yàn)頻散曲線(xiàn)和理論頻散曲線(xiàn)進(jìn)行匹配即可完成對(duì)薄膜特性的無(wú)損檢測(cè)。