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高純多晶硅的無(wú)損材料檢測(cè)方法

997   編輯:管理員   來(lái)源:中冶有色網(wǎng)  
2023-03-19 08:57:52
本發(fā)明涉及無(wú)污染及無(wú)損傷檢測(cè)定形多晶硅體材料缺陷的方法,其中,將定形多晶硅體暴露于超聲波中,超聲波穿過(guò)定形多晶硅體后由超聲波接收器記錄下來(lái),從而檢測(cè)出定形多晶硅體內(nèi)的缺陷。
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